Tài liệu Giáo Trình Cảm Biến Công Nghiệp 1

Ch−¬ng I C¸c Kh¸i niÖm vµ ®Æc tr−ng c¬ b¶n 1.1. Kh¸i niÖm vµ ph©n lo¹i c¶m biÕn 1.1.1. Kh¸i niÖm C¶m biÕn lµ thiÕt bÞ dïng ®Ó c¶m nhËn biÕn ®æi c¸c ®¹i l−îng vËt lý vµ c¸c ®¹i l−îng kh«ng cã tÝnh chÊt ®iÖn cÇn ®o thµnh c¸c ®¹i l−îng ®iÖn cã thÓ ®o vµ xö lý ®−îc. C¸c ®¹i l−îng cÇn ®o (m) th−êng kh«ng cã tÝnh chÊt ®iÖn (nh− nhiÖt ®é, ¸p suÊt ...) t¸c ®éng lªn c¶m biÕn cho ta mét ®Æc tr−ng (s) mang tÝnh chÊt ®iÖn (nh− ®iÖn tÝch, ®iÖn ¸p, dßng ®iÖn hoÆc trë kh¸ng) chøa ®ùng th«ng tin cho phÐp x¸c ®Þnh gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o. §Æc tr−ng (s) lµ hµm cña ®¹i l−îng cÇn ®o (m): s = F (m ) (1.1) Ng−êi ta gäi (s) lµ ®¹i l−îng ®Çu ra hoÆc lµ ph¶n øng cña c¶m biÕn, (m) lµ ®¹i l−îng ®Çu vµo hay kÝch thÝch (cã nguån gèc lµ ®¹i l−îng cÇn ®o). Th«ng qua ®o ®¹c (s) cho phÐp nhËn biÕt gi¸ trÞ cña (m). 1.1.2. Ph©n lo¹i c¶m biÕn C¸c bé c¶m biÕn ®−îc ph©n lo¹i theo c¸c ®Æc tr−ng c¬ b¶n sau ®©y: - Theo nguyªn lý chuyÓn ®æi gi÷a ®¸p øng vµ kÝch thÝch (b¶ng 1.1). B¶ng 1.1 HiÖn t−îng ChuyÓn ®æi ®¸p øng vµ kÝch thÝch - NhiÖt ®iÖn - Quang ®iÖn - Quang tõ HiÖn t−îng vËt lý - §iÖn tõ - Quang ®µn håi - Tõ ®iÖn - NhiÖt tõ... - BiÕn ®æi ho¸ häc Ho¸ häc - BiÕn ®æi ®iÖn ho¸ - Ph©n tÝch phæ ... - BiÕn ®æi sinh ho¸ Sinh häc - BiÕn ®æi vËt lý - 5- - HiÖu øng trªn c¬ thÓ sèng ... - Ph©n lo¹i theo d¹ng kÝch thÝch (b¶ng 1.2) B¶ng 1.2 - Biªn pha, ph©n cùc ¢m thanh - Phæ - Tèc ®é truyÒn sãng ... - §iÖn tÝch, dßng ®iÖn §iÖn - §iÖn thÕ, ®iÖn ¸p - §iÖn tr−êng (biªn, pha, ph©n cùc, phæ) - §iÖn dÉn, h»ng sè ®iÖn m«i ... - Tõ tr−êng (biªn, pha, ph©n cùc, phæ) Tõ - Tõ th«ng, c−êng ®é tõ tr−êng - §é tõ thÈm ... - Biªn, pha, ph©n cùc, phæ Quang - Tèc ®é truyÒn - HÖ sè ph¸t x¹, khóc x¹ - HÖ sè hÊp thô, hÖ sè bøc x¹ ... - VÞ trÝ - Lùc, ¸p suÊt - Gia tèc, vËn tèc C¬ - øng suÊt, ®é cøng - M« men - Khèi l−îng, tØ träng - VËn tèc chÊt l−u, ®é nhít ... - NhiÖt ®é NhiÖt - Th«ng l−îng - NhiÖt dung, tØ nhiÖt ... - KiÓu Bøc x¹ - N¨ng l−îng - C−êng ®é ... - 6- - Theo tÝnh n¨ng cña bé c¶m biÕn (b¶ng 1.3) B¶ng 1.3 - §é nh¹y - Kh¶ n¨ng qu¸ t¶i - §é chÝnh x¸c - Tèc ®é ®¸p øng - §é ph©n gi¶i - §é æn ®Þnh - §é chän läc - Tuæi thä - §é tuyÕn tÝnh - §iÒu kiÖn m«i tr−êng - C«ng suÊt tiªu thô - KÝch th−íc, träng l−îng - D¶i tÇn - §é trÔ - Ph©n lo¹i theo ph¹m vi sö dông ( b¶ng 1.4). B¶ng 1.4 - C«ng nghiÖp - Nghiªn cøu khoa häc - M«i tr−êng, khÝ t−îng - Th«ng tin, viÔn th«ng - N«ng nghiÖp - D©n dông - Giao th«ng - Vò trô - Qu©n sù - Ph©n lo¹i theo th«ng sè cña m« h×nh m¹ch thay thÕ : + C¶m biÕn tÝch cùc cã ®Çu ra lµ nguån ¸p hoÆc nguån dßng. + C¶m biÕn thô ®éng ®−îc ®Æc tr−ng b»ng c¸c th«ng sè R, L, C, M .... tuyÕn tÝnh hoÆc phi tuyÕn. 1.2. §−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn 1.2.1. Kh¸i niÖm §−êng cong chuÈn c¶m biÕn lµ ®−êng cong biÓu diÔn sù phô thuéc cña ®¹i l−îng ®iÖn (s) ë ®Çu ra cña c¶m biÕn vµo gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o (m) ë ®Çu vµo. - 7- §−êng cong chuÈn cã thÓ biÓu diÔn b»ng biÓu thøc ®¹i sè d−íi d¹ng s = F (m ) , hoÆc b»ng ®å thÞ nh− h×nh 1.1a. s s si 0 mi m m 0 a) b) H×nh 1.1 §−êng cong chuÈn c¶m biÕn a) D¹ng ®−êng cong chuÈn b) §−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn tuyÕn tÝnh Dùa vµo ®−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn, ta cã thÓ x¸c ®Þnh gi¸ trÞ mi ch−a biÕt cña m th«ng qua gi¸ trÞ ®o ®−îc si cña s. §Ó dÔ sö dông, ng−êi ta th−êng chÕ t¹o c¶m biÕn cã sù phô thuéc tuyÕn tÝnh gi÷a ®¹i l−îng ®Çu ra vµ ®¹i l−îng ®Çu vµo, ph−¬ng tr×nh s= F(m) cã d¹ng s = am +b víi a, b lµ c¸c hÖ sè, khi ®ã ®−êng cong chuÈn lµ ®−êng th¼ng (h×nh 1.1b). 1.2.2. Ph−¬ng ph¸p chuÈn c¶m biÕn ChuÈn c¶m biÕn lµ phÐp ®o nh»m môc ®Ých x¸c lËp mèi quan hÖ gi÷a gi¸ trÞ s ®o ®−îc cña ®¹i l−îng ®iÖn ë ®Çu ra vµ gi¸ trÞ m cña ®¹i l−îng ®o cã tÝnh ®Õn c¸c yÕu tè ¶nh h−ëng, trªn c¬ së ®ã x©y dùng ®−êng cong chuÈn d−íi d¹ng t−êng minh (®å thÞ hoÆc biÓu thøc ®¹i sè). Khi chuÈn c¶m biÕn, víi mét lo¹t gi¸ trÞ ®· biÕt chÝnh x¸c mi cña m, ®o gi¸ trÞ t−¬ng øng si cña s vµ dùng ®−êng cong chuÈn. s s2 s1 m1 m2 m H×nh 1.2 Ph−¬ng ph¸p chuÈn c¶m biÕn a) ChuÈn ®¬n gi¶n Trong tr−êng hîp ®¹i l−îng ®o chØ cã mét ®¹i l−îng vËt lý duy nhÊt t¸c ®éng lªn mét ®¹i l−îng ®o x¸c ®Þnh vµ c¶m biÕn sö dông kh«ng nh¹y víi t¸c ®éng cña c¸c - 8- ®¹i l−îng ¶nh h−ëng, ng−êi ta dïng ph−¬ng ph¸p chuÈn ®¬n gi¶n. Thùc chÊt cña chuÈn ®¬n gi¶n lµ ®o c¸c gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®Çu ra øng víi c¸c gi¸ x¸c ®Þnh kh«ng ®æi cña ®¹i l−îng ®o ë ®Çu vµo. ViÖc chuÈn ®−îc tiÕn hµnh theo hai c¸ch: - ChuÈn trùc tiÕp: c¸c gi¸ trÞ kh¸c nhau cña ®¹i l−îng ®o lÊy tõ c¸c mÉu chuÈn hoÆc c¸c phÇn tö so s¸nh cã gi¸ trÞ biÕt tr−íc víi ®é chÝnh x¸c cao. - ChuÈn gi¸n tiÕp: kÕt hîp c¶m biÕn cÇn chuÈn víi mét c¶m biÕn so s¸nh ®· cã s½n ®−êng cong chuÈn, c¶ hai ®−îc ®Æt trong cïng ®iÒu kiÖn lµm viÖc. Khi t¸c ®éng lªn hai c¶m biÕn víi cïng mét gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o ta nhËn ®−îc gi¸ trÞ t−¬ng øng cña c¶m biÕn so s¸nh vµ c¶m biÕn cÇn chuÈn. LÆp l¹i t−¬ng tù víi c¸c gi¸ trÞ kh¸c cña ®¹i l−îng ®o cho phÐp ta x©y dùng ®−îc ®−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn cÇn chuÈn. b) ChuÈn nhiÒu lÇn Khi c¶m biÕn cã phÇn tö bÞ trÔ (trÔ c¬ hoÆc trÔ tõ), gi¸ trÞ ®o ®−îc ë ®Çu ra phô thuéc kh«ng nh÷ng vµo gi¸ trÞ tøc thêi cña ®¹i l−îng cÇn ®o ë ®Çu vµo mµ cßn phô thuéc vµo gi¸ trÞ tr−íc ®ã cña cña ®¹i l−îng nµy. Trong tr−êng hîp nh− vËy, ng−êi ta ¸p dông ph−¬ng ph¸p chuÈn nhiÒu lÇn vµ tiÕn hµnh nh− sau: - §Æt l¹i ®iÓm 0 cña c¶m biÕn: ®¹i l−îng cÇn ®o vµ ®¹i l−îng ®Çu ra cã gi¸ trÞ t−¬ng øng víi ®iÓm gèc, m=0 vµ s=0. - §o gi¸ trÞ ®Çu ra theo mét lo¹t gi¸ trÞ t¨ng dÇn ®Õn gi¸ trÞ cùc ®¹i cña ®¹i l−îng ®o ë ®Çu vµo. - LÆp l¹i qu¸ tr×nh ®o víi c¸c gi¸ trÞ gi¶m dÇn tõ gi¸ trÞ cùc ®¹i. Khi chuÈn nhiÒu lÇn cho phÐp x¸c ®Þnh ®−êng cong chuÈn theo c¶ hai h−íng ®o t¨ng dÇn vµ ®o gi¶m dÇn. 1.3. C¸c ®Æc tr−ng c¬ b¶n 1.3.1. §é nh¹y cña c¶m biÕn a) Kh¸i niÖm §èi víi c¶m biÕn tuyÕn tÝnh, gi÷a biÕn thiªn ®Çu ra ∆s vµ biÕn thiªn ®Çu vµo ∆m cã sù liªn hÖ tuyÕn tÝnh: ∆s = S.∆m §¹i l−îng S x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc S = (1.2) ∆s ®−îc gäi lµ ®é nh¹y cña c¶m biÕn. ∆m Tr−êng hîp tæng qu¸t, biÓu thøc x¸c ®Þnh ®é nh¹y S cña c¶m biÕn xung quanh - 9- gi¸ trÞ mi cña ®¹i l−îng ®o x¸c ®Þnh bëi tû sè gi÷a biÕn thiªn ∆s cña ®¹i l−îng ®Çu ra vµ biÕn thiªn ∆m t−¬ng øng cña ®¹i l−îng ®o ë ®Çu vµo quanh gi¸ trÞ ®ã: ⎛ ∆s ⎞ S=⎜ ⎟ ⎝ ∆m ⎠ m = m (1.3) i §Ó phÐp ®o ®¹t ®é chÝnh x¸c cao, khi thiÕt kÕ vµ sö dông c¶m biÕn cÇn lµm sao cho ®é nh¹y S cña nã kh«ng ®æi, nghÜa lµ Ýt phô thuéc nhÊt vµo c¸c yÕu tè sau: - Gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng cÇn ®o m vµ tÇn sè thay ®æi cña nã. - Thêi gian sö dông. - ¶nh h−ëng cña c¸c ®¹i l−îng vËt lý kh¸c (kh«ng ph¶i lµ ®¹i l−îng ®o) cña m«i tr−êng xung quanh. Th«ng th−êng nhµ s¶n xuÊt cung cÊp gi¸ trÞ cña ®é nh¹y S t−¬ng øng víi nh÷ng ®iÒu kiÖn lµm viÖc nhÊt ®Þnh cña c¶m biÕn. b) §é nh¹y trong chÕ ®é tÜnh vµ tû sè chuyÓn ®æi tÜnh §−êng chuÈn c¶m biÕn, x©y dùng trªn c¬ së ®o c¸c gi¸ trÞ si ë ®Çu ra t−¬ng øng víi c¸c gi¸ trÞ kh«ng ®æi mi cña ®¹i l−îng ®o khi ®¹i l−îng nµy ®¹t ®Õn chÕ ®é lµm viÖc danh ®Þnh ®−îc gäi lµ ®Æc tr−ng tÜnh cña c¶m biÕn. Mét ®iÓm Qi(mi,si) trªn ®Æc tr−ng tÜnh x¸c ®Þnh mét ®iÓm lµm viÖc cña c¶m biÕn ë chÕ ®é tÜnh. Trong chÕ ®é tÜnh, ®é nh¹y S x¸c ®Þnh theo c«ng thøc (1.3) chÝnh lµ ®é ®èc cña ®Æc tr−ng tÜnh ë ®iÓm lµm viÖc ®ang xÐt. Nh− vËy, nÕu ®Æc tr−ng tÜnh kh«ng ph¶i lµ tuyÕn tÝnh th× ®é nh¹y trong chÕ ®é tÜnh phô thuéc ®iÓm lµm viÖc. §¹i l−îng ri x¸c ®Þnh bëi tû sè gi÷a gi¸ trÞ si ë ®Çu ra vµ gi¸ trÞ mi ë ®Çu vµo ®−îc gäi lµ tû sè chuyÓn ®æi tÜnh: ⎛s⎞ ri = ⎜ ⎟ ⎝ m ⎠Q (1.4) i Tõ (1.4), ta nhËn thÊy tû sè chuyÓn ®æi tÜnh ri kh«ng phô thuéc vµo ®iÓm lµm viÖc Qi vµ chØ b»ng S khi ®Æc tr−ng tÜnh lµ ®−êng th¼ng ®i qua gèc to¹ ®é. c) §é nh¹y trong chÕ ®é ®éng §é nh¹y trong chÕ ®é ®éng ®−îc x¸c ®Þnh khi ®¹i l−îng ®o biÕn thiªn tuÇn hoµn theo thêi gian. Gi¶ sö biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o m theo thêi gian cã d¹ng: m(t ) = m 0 + m 1 cos ωt - 10- (1.5) Trong ®ã m0 lµ gi¸ trÞ kh«ng ®æi, m1 lµ biªn ®é vµ ω tÇn sè gãc cña biÕn thiªn ®¹i l−îng ®o. ë ®Çu ra cña c¶m biÕn, håi ®¸p s cã d¹ng: s(t ) = s 0 + s1 cos(ωt + ϕ) Trong ®ã: - s0 lµ gi¸ trÞ kh«ng ®æi t−¬ng øng víi m0 x¸c ®Þnh ®iÓm lµm viÖc Q0 trªn ®−êng cong chuÈn ë chÕ ®é tÜnh. - s1 lµ biªn ®é biÕn thiªn ë ®Çu ra do thµnh phÇn biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o g©y nªn. - ϕ lµ ®é lÖch pha gi÷a ®¹i l−îng ®Çu vµo vµ ®¹i l−îng ®Çu ra. Trong chÕ ®é ®éng, ®é nh¹y S cña c¶m biÕn ®−îc x¸c ®Þnh bëi tØ sè gi÷a biªn ®é cña biÕn thiªn ®Çu ra s1 vµ biªn ®é cña biÕn thiªn ®Çu vµo m1 øng víi ®iÓm lµm viÖc ®−îc xÐt Q0, theo c«ng thøc: ⎛s ⎞ S = ⎜⎜ 1 ⎟⎟ ⎝ m1 ⎠Q 0 §é nh¹y trong chÕ ®é ®éng phô thuéc vµo tÇn sè ®¹i l−îng ®o, S = S (f ) . Sù biÕn thiªn cña ®é nh¹y theo tÇn sè cã nguån gèc lµ do qu¸n tÝnh c¬, nhiÖt hoÆc ®iÖn cña ®Çu ®o, tøc lµ cña c¶m biÕn vµ c¸c thiÕt bÞ phô trî, chóng kh«ng thÓ cung cÊp tøc thêi tÝn hiÖu ®iÖn theo kÞp biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o. Bëi vËy khi xÐt sù håi ®¸p cã phô thuéc vµo tÇn sè cÇn ph¶i xem xÐt s¬ ®å m¹ch ®o cña c¶m biÕn mét c¸ch tæng thÓ. 1.3.2. §é tuyÕn tÝnh a) Kh¸i niÖm Mét c¶m biÕn ®−îc gäi lµ tuyÕn tÝnh trong mét d¶i ®o x¸c ®Þnh nÕu trong d¶i chÕ ®é ®ã, ®é nh¹y kh«ng phô thuéc vµo ®¹i l−îng ®o. Trong chÕ ®é tÜnh, ®é tuyÕn tÝnh chÝnh lµ sù kh«ng phô thuéc cña ®é nh¹y cña c¶m biÕn vµo gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o, thÓ hiÖn bëi c¸c ®o¹n th¼ng trªn ®Æc tr−ng tÜnh cña c¶m biÕn vµ ho¹t ®éng cña c¶m biÕn lµ tuyÕn tÝnh chõng nµo ®¹i l−îng ®o cßn n»m trong vïng nµy. Trong chÕ ®é ®éng, ®é tuyÕn tÝnh bao gåm sù kh«ng phô thuéc cña ®é nh¹y ë chÕ ®é tÜnh S(0) vµo ®¹i l−îng ®o, ®ång thêi c¸c th«ng sè quyÕt ®Þnh sù håi ®¸p (nh− - 11- tÇn sè riªng f0 cña dao ®éng kh«ng t¾t, hÖ sè t¾t dÇn ξ còng kh«ng phô thuéc vµo ®¹i l−îng ®o. NÕu c¶m biÕn kh«ng tuyÕn tÝnh, ng−êi ta ®−a vµo m¹ch ®o c¸c thiÕt bÞ hiÖu chØnh sao cho tÝn hiÖu ®iÖn nhËn ®−îc ë ®Çu ra tØ lÖ víi sù thay ®æi cña ®¹i l−îng ®o ë ®Çu vµo. Sù hiÖu chØnh ®ã ®−îc gäi lµ sù tuyÕn tÝnh ho¸. b) §−êng th¼ng tèt nhÊt Khi chuÈn c¶m biÕn, tõ kÕt qu¶ thùc nghiÖm ta nhËn ®−îc mét lo¹t ®iÓm t−¬ng øng (si,mi) cña ®¹i l−îng ®Çu ra vµ ®¹i l−îng ®Çu vµo. VÒ mÆt lý thuyÕt, ®èi víi c¸c c¶m biÕn tuyÕn tÝnh, ®−êng cong chuÈn lµ mét ®−êng th¼ng. Tuy nhiªn, do sai sè khi ®o, c¸c ®iÓm chuÈn (mi, si) nhËn ®−îc b»ng thùc nghiÖm th−êng kh«ng n»m trªn cïng mét ®−êng th¼ng. §−êng th¼ng ®−îc x©y dùng trªn c¬ së c¸c sè liÖu thùc nghiÖm sao cho sai sè lµ bÐ nhÊt, biÓu diÔn sù tuyÕn tÝnh cña c¶m biÕn ®−îc gäi lµ ®−êng th¼ng tèt nhÊt. Ph−¬ng tr×nh biÓu diÔn ®−êng th¼ng tèt nhÊt ®−îc lËp b»ng ph−¬ng ph¸p b×nh ph−¬ng bÐ nhÊt. Gi¶ sö khi chuÈn c¶m biÕn ta tiÕn hµnh víi N ®iÓm ®o, ph−¬ng tr×nh cã d¹ng: s = am + b Trong ®ã: a= b= N.∑ s i .m i −∑ s i .∑ m i N.∑ m 2i − (∑ m i ) 2 ∑ s i .∑ m 2i − ∑ m i .s i .∑ m i 2 N.∑ m 2i − (∑ m i ) c) §é lÖch tuyÕn tÝnh §èi víi c¸c c¶m biÕn kh«ng hoµn toµn tuyÕn tÝnh, ng−êi ta ®−a ra kh¸i niÖm ®é lÖch tuyÕn tÝnh, x¸c ®Þnh bëi ®é lÖch cùc ®¹i gi÷a ®−êng cong chuÈn vµ ®−êng th¼ng tèt nhÊt, tÝnh b»ng % trong d¶i ®o. 1.3.3. Sai sè vµ ®é chÝnh x¸c C¸c bé c¶m biÕn còng nh− c¸c dông cô ®o l−êng kh¸c, ngoµi ®¹i l−îng cÇn ®o (c¶m nhËn) cßn chÞu t¸c ®éng cña nhiÒu ®¹i l−îng vËt lý kh¸c g©y nªn sai sè gi÷a gi¸ trÞ ®o ®−îc vµ gi¸ trÞ thùc cña ®¹i l−îng cÇn ®o. Gäi ∆x lµ ®é lÖch tuyÖt ®èi gi÷a gi¸ trÞ ®o vµ gi¸ trÞ thùc x (sai sè tuyÖt ®èi), sai sè t−¬ng ®èi cña bé c¶m biÕn ®−îc tÝnh b»ng: - 12- δ= ∆x .100 x [%] Sai sè cña bé c¶m biÕn mang tÝnh chÊt −íc tÝnh bëi v× kh«ng thÓ biÕt chÝnh x¸c gi¸ trÞ thùc cña ®¹i l−îng cÇn ®o. Khi ®¸nh gi¸ sai sè cña c¶m biÕn, ng−êi ta th−êng ph©n chóng thµnh hai lo¹i: sai sè hÖ thèng vµ sai sè ngÉu nhiªn. - Sai sè hÖ thèng: lµ sai sè kh«ng phô thuéc vµo sè lÇn ®o, cã gi¸ trÞ kh«ng ®æi hoÆc thay ®æi chËm theo thêi gian ®o vµ thªm vµo mét ®é lÖch kh«ng ®æi gi÷a gi¸ trÞ thùc vµ gi¸ trÞ ®o ®−îc. Sai sè hÖ thèng th−êng do sù thiÕu hiÓu biÕt vÒ hÖ ®o, do ®iÒu kiÖn sö dông kh«ng tèt g©y ra. C¸c nguyªn nh©n g©y ra sai sè hÖ thèng cã thÓ lµ: Do nguyªn lý cña c¶m biÕn. + Do gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng chuÈn kh«ng ®óng. + Do ®Æc tÝnh cña bé c¶m biÕn. + Do ®iÒu kiÖn vµ chÕ ®é sö dông. +Do xö lý kÕt qu¶ ®o. - Sai sè ngÉu nhiªn: lµ sai sè xuÊt hiÖn cã ®é lín vµ chiÒu kh«ng x¸c ®Þnh. Ta cã thÓ dù ®o¸n ®−îc mét sè nguyªn nh©n g©y ra sai sè ngÉu nhiªn nh−ng kh«ng thÓ dù ®o¸n ®−îc ®é lín vµ dÊu cña nã. Nh÷ng nguyªn nh©n g©y ra sai sè ngÉu nhiªn cã thÓ lµ: + Do sù thay ®æi ®Æc tÝnh cña thiÕt bÞ. + Do tÝn hiÖu nhiÔu ngÉu nhiªn. + Do c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng kh«ng ®−îc tÝnh ®Õn khi chuÈn c¶m biÕn. Chóng ta cã thÓ gi¶m thiÓu sai sè ngÉu nhiªn b»ng mét sè biÖn ph¸p thùc nghiÖm thÝch hîp nh− b¶o vÖ c¸c m¹ch ®o tr¸nh ¶nh h−ëng cña nhiÔu, tù ®éng ®iÒu chØnh ®iÖn ¸p nguån nu«i, bï c¸c ¶nh h−ëng nhiÖt ®é, tÇn sè, vËn hµnh ®óng chÕ ®é hoÆc thùc hiÖn phÐp ®o l−êng thèng kª. 1.3.4. §é nhanh vµ thêi gian håi ®¸p §é nhanh lµ ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn cho phÐp ®¸nh gi¸ kh¶ n¨ng theo kÞp vÒ thêi gian cña ®¹i l−îng ®Çu ra khi ®¹i l−îng ®Çu vµo biÕn thiªn. Thêi gian håi ®¸p lµ ®¹i l−îng ®−îc sö dông ®Ó x¸c ®Þnh gi¸ trÞ sè cña ®é nhanh. §é nhanh tr lµ kho¶ng thêi gian tõ khi ®¹i l−îng ®o thay ®æi ®ét ngét ®Õn khi biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®Çu ra chØ cßn kh¸c gi¸ trÞ cuèi cïng mét l−îng giíi h¹n ε tÝnh b»ng %. Thêi gian håi ®¸p t−¬ng øng víi ε% x¸c ®Þnh kho¶ng thêi gian cÇn - 13- thiÕt ph¶i chê ®îi sau khi cã sù biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o ®Ó lÊy gi¸ trÞ cña ®Çu ra víi ®é chÝnh x¸c ®Þnh tr−íc. Thêi gian håi ®¸p ®Æc tr−ng cho chÕ ®é qu¸ ®é cña c¶m biÕn vµ lµ hµm cña c¸c th«ng sè thêi gian x¸c ®Þnh chÕ ®é nµy. Trong tr−êng hîp sù thay ®æi cña ®¹i l−îng ®o cã d¹ng bËc thang, c¸c th«ng sè thêi gian gåm thêi gian trÔ khi t¨ng (tdm) vµ thêi gian t¨ng (tm) øng víi sù t¨ng ®ét ngét cña ®¹i l−îng ®o hoÆc thêi gian trÔ khi gi¶m (tdc) vµ thêi gian gi¶m (tc) øng víi sù gi¶m ®ét ngét cña ®¹i l−îng ®o. Kho¶ng thêi gian trÔ khi t¨ng tdm lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra t¨ng tõ gi¸ trÞ ban ®Çu cña nã ®Õn 10% cña biÕn thiªn tæng céng cña ®¹i l−îng nµy vµ kho¶ng thêi gian t¨ng tm lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra t¨ng tõ 10% ®Õn 90% biÕn thiªn biÕn thiªn tæng céng cña nã. m m0 t s s0 0,9 0,1 t tdm tm tdc tc H×nh 1.3 X¸c ®Þnh c¸c kho¶ng thêi gian ®Æc tr−ng cho chÕ ®é qu¸ ®é T−¬ng tù, khi ®¹i l−îng ®o gi¶m, thêi gian trÓ khi gi¶m tdc lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra gi¶m tõ gi¸ trÞ ban ®Çu cña nã ®Õn 10% biÕn thiªn tæng céng cña ®¹i l−îng nµy vµ kho¶ng thêi gian gi¶m tc lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra gi¶m tõ 10% ®Õn 90% biÕn thiªn biÕn thiªn tæng cæng cña nã. C¸c th«ng sè vÒ thêi gian tr, tdm, tm, tdc, tc cña c¶m biÕn cho phÐp ta ®¸nh gi¸ vÒ thêi gian håi ®¸p cña nã. 1.3.5. Giíi h¹n sö dông cña c¶m biÕn Trong qu¸ tr×nh sö dông, c¸c c¶m biÕn lu«n chÞu t¸c ®éng cña øng lùc c¬ häc, t¸c ®éng nhiÖt... Khi c¸c t¸c ®éng nµy v−ît qu¸ ng−ìng cho phÐp, chóng sÏ lµm thay ®æi ®Æc tr−ng lµm viÖc cña c¶m biÕn. Bëi vËy khi sö dông c¶m biÕn, ng−êi sö dông cÇn ph¶i biÕt râ c¸c giíi h¹n nµy. a) Vïng lµm viÖc danh ®Þnh - 14- Vïng lµm viÖc danh ®Þnh t−¬ng øng víi nh÷ng ®iÒu kiÖn sö dông b×nh th−êng cña c¶m biÕn. Giíi h¹n cña vïng lµ c¸c gi¸ trÞ ng−ìng mµ c¸c ®¹i l−îng ®o, c¸c ®¹i l−îng vËt lý cã liªn quan ®Õn ®¹i l−îng ®o hoÆc c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng cã thÓ th−êng xuyªn ®¹t tíi mµ kh«ng lµm thay ®æi c¸c ®Æc tr−ng lµm viÖc danh ®Þnh cña c¶m biÕn. b) Vïng kh«ng g©y nªn h− háng Vïng kh«ng g©y nªn h− háng lµ vïng mµ khi mµ c¸c ®¹i l−îng ®o hoÆc c¸c ®¹i l−îng vËt lý cã liªn quan vµ c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng v−ît qua ng−ìng cña vïng lµm viÖc danh ®Þnh nh−ng vÉn cßn n»m trong ph¹m vi kh«ng g©y nªn h− háng, c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn cã thÓ bÞ thay ®æi nh−ng nh÷ng thay ®æi nµy mang tÝnh thuËn nghÞch, tøc lµ khi trë vÒ vïng lµm viÖc danh ®Þnh c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn lÊy l¹i gi¸ trÞ ban ®Çu cña chóng. c) Vïng kh«ng ph¸ huû Vïng kh«ng ph¸ hñy lµ vïng mµ khi mµ c¸c ®¹i l−îng ®o hoÆc c¸c ®¹i l−îng vËt lý cã liªn quan vµ c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng v−ît qua ng−ìng cña vïng kh«ng g©y nªn h− háng nh−ng vÉn cßn n»m trong ph¹m vi kh«ng bÞ ph¸ hñy, c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn bÞ thay ®æi vµ nh÷ng thay ®æi nµy mang tÝnh kh«ng thuËn nghÞch, tøc lµ khi trë vÒ vïng lµm viÖc danh ®Þnh c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn kh«ng thÓ lÊy l¹i gi¸ trÞ ban ®Çu cña chóng. Trong tr−êng hîp nµy c¶m biÕn vÉn cßn sö dông ®−îc, nh−ng ph¶i tiÕn hµnh chuÈn l¹i c¶m biÕn. 1.4. Nguyªn lý chung chÕ t¹o c¶m biÕn C¸c c¶m biÕn ®−îc chÕ t¹o dùa trªn c¬ së c¸c hiÖn t−îng vËt lý vµ ®−îc ph©n lµm hai lo¹i: - C¶m biÕn tÝch cùc: lµ c¸c c¶m biÕn ho¹t ®éng nh− mét m¸y ph¸t, ®¸p øng (s) lµ ®iÖn tÝch, ®iÖn ¸p hay dßng. - C¶m biÕn thô ®éng: lµ c¸c c¶m biÕn ho¹t ®éng nh− mét trë kh¸ng trong ®ã ®¸p øng (s) lµ ®iÖn trë, ®é tù c¶m hoÆc ®iÖn dung. 1.4.1. Nguyªn lý chÕ t¹o c¸c c¶m biÕn tÝch cùc C¸c c¶m biÕn tÝch cùc ®−îc chÕ t¹o dùa trªn c¬ së øng dông c¸c hiÖu øng vËt lý biÕn ®æi mét d¹ng n¨ng l−îng nµo ®ã (nhiÖt, c¬ hoÆc bøc x¹) thµnh n¨ng l−îng ®iÖn. D−íi ®©y m« t¶ mét c¸ch kh¸i qu¸t øng dông mét sè hiÖu øng vËt lý khi chÕ t¹o c¶m biÕn. - 15- a) HiÖu øng nhiÖt ®iÖn Hai d©y dÉn (M1) vµ (M2) cã b¶n chÊt ho¸ häc kh¸c nhau ®−îc hµn l¹i víi nhau thµnh mét m¹ch ®iÖn kÝn, nÕu nhiÖt ®é ë hai mèi hµn lµ T1 vµ T2 kh¸c nhau, khi ®ã trong m¹ch xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng e(T1, T2) mµ ®é lín cña nã phô thuéc chªnh lÖch nhiÖt ®é gi÷a T1 vµ T2. (M2) T1 (M1) T2 e T1 (M2) H×nh 1.4. S¬ ®å hiÖu øng nhiÖt ®iÖn. HiÖu øng nhiÖt ®iÖn ®−îc øng dông ®Ó ®o nhiÖt ®é T1 khi biÕt tr−íc nhiÖt ®é T2, th−êng chän T2 = 0oC. b) HiÖu øng ho¶ ®iÖn Mét sè tinh thÓ gäi lµ tinh thÓ ho¶ ®iÖn (vÝ dô tinh thÓ sulfate triglycine) cã tÝnh ph©n cùc ®iÖn tù ph¸t víi ®é ph©n cùc phô thuéc vµo nhiÖt ®é, lµm xuÊt hiÖn trªn c¸c mÆt ®èi diÖn cña chóng nh÷ng ®iÖn tÝch tr¸i dÊu. §é lín cña ®iÖn ¸p gi÷a hai mÆt phô thuéc vµo ®é ph©n cùc cña tinh thÓ ho¶ ®iÖn. Φ v Φ H×nh 1.5 øng dông hiÖu øng ho¶ ®iÖn HiÖu øng ho¶ ®iÖn ®−îc øng dông ®Ó ®o th«ng l−îng cña bøc x¹ ¸nh s¸ng. Khi ta chiÕu mét chïm ¸nh s¸ng vµo tinh thÓ ho¶ ®iÖn, tinh thÓ hÊp thô ¸nh s¸ng vµ nhiÖt ®é cña nã t¨ng lªn, lµm thay ®æi sù ph©n cùc ®iÖn cña tinh thÓ. §o ®iÖn ¸p V ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc th«ng l−îng ¸nh s¸ng Φ. c) HiÖu øng ¸p ®iÖn Mét sè vËt liÖu gäi chung lµ vËt liÖu ¸p ®iÖn (nh− th¹ch anh ch¼ng h¹n) khi bÞ biÕn d¹ng d−íc t¸c ®éng cña lùc c¬ häc, trªn c¸c mÆt ®èi diÖn cña tÊm vËt liÖu xuÊt - 16- hiÖn nh÷ng l−îng ®iÖn tÝch b»ng nhau nh−ng tr¸i dÊu, ®−îc gäi lµ hiÖu øng ¸p ®iÖn. §o V ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc c−êng ®é cña lùc t¸c dông F. F V F H×nh 1.6 øng dông hiÖu øng ¸p ®iÖn d) HiÖu øng c¶m øng ®iÖn tõ Khi mét d©y dÉn chuyÓn ®éng trong tõ tr−êng kh«ng ®æi, trong d©y dÉn xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng tû lÖ víi tõ th«ng c¾t ngang d©y trong mét ®¬n vÞ thêi gian, nghÜa lµ tû lÖ víi tèc ®é dÞch chuyÓn cña d©y. T−¬ng tù nh− vËy, trong mét khung d©y ®Æt trong tõ tr−êng cã tõ th«ng biÕn thiªn còng xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng tû lÖ víi tèc ®é biÕn thiªn cña tõ th«ng qua khung d©y. B Ω e Ω H×nh 1.7 øng dông hiÖu øng c¶m øng ®iÖn tõ HiÖu øng c¶m øng ®iÖn tõ ®−îc øng dông ®Ó x¸c ®Þnh tèc ®é dÞch chuyÓn cña vËt th«ng qua viÖc ®o suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng. e) HiÖu øng quang ®iÖn - HiÖu øng quang dÉn: (hay cßn gäi lµ hiÖu øng quang ®iÖn néi) lµ hiÖn t−îng gi¶i phãng ra c¸c h¹t dÉn tù do trong vËt liÖu (th−êng lµ b¸n dÉn) khi chiÕu vµo chóng mét bøc x¹ ¸nh s¸ng (hoÆc bøc x¹ ®iÖn tõ nãi chung) cã b−íc sãng nhá h¬n mét ng−ìng nhÊt ®Þnh. - HiÖu øng quang ph¸t x¹ ®iÖn tö: (hay cßn gäi lµ hiÖu øng quang ®iÖn ngoµi) lµ hiÖn t−îng c¸c ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng vµ tho¸t khái bÒ mÆt vËt liÖu t¹o thµnh dßng cã thÓ thu l¹i nhê t¸c dông cña ®iÖn tr−êng. g) HiÖu øng quang - ®iÖn - tõ Khi t¸c dông mét tõ tr−êng B vu«ng gãc víi bøc x¹ ¸nh s¸ng, trong vËt liÖu b¸n - 17- dÉn ®−îc chiÕu s¸ng sÏ xuÊt hiÖn mét hiÖu ®iÖn thÕ theo h−íng vu«ng gãc víi tõ tr−êng B vµ h−íng bøc x¹ ¸nh s¸ng. Φ V B Φ H×nh 1.8 øng dông hiÖu øng quang - ®iÖn - tõ h) HiÖu øng Hall Khi ®Æt mét tÊm máng vËt liÖu máng (th−êng lµ b¸n dÉn), trong ®ã cã dßng ®iÖn ch¹y qua, vµo trong mét tõ tr−êng B cã ph−¬ng t¹o víi dßng ®iÖn I trong tÊm mét gãc θ, sÏ xuÊt hiÖn mét hiÖu ®iÖn thÕ VH theo h−íng vu«ng gãc víi B vµ I. BiÓu thøc hiÖu ®iÖn thÕ cã d¹ng: VH = K H .I.B. sin θ Trong ®ã KH lµ hÖ sè phô thuéc vµo vËt liÖu vµ kÝch th−íc h×nh häc cña tÊm vËt liÖu. N X S B θ v X H×nh 1.9 øng dông hiÖu øng Hall HiÖu øng Hall ®−îc øng dông ®Ó x¸c ®Þnh vÞ trÝ cña mét vËt chuyÓn ®éng. VËt cÇn x¸c ®Þnh vÞ trÝ liªn kÕt c¬ häc víi thanh nam ch©m, ë mäi thêi ®iÓm, vÞ trÝ thanh nam ch©m x¸c ®Þnh gi¸ trÞ cña tõ tr−êng B vµ gãc θ t−¬ng øng víi tÊm b¸n dÉn máng lµm vËt trung gian. V× vËy, hiÖu ®iÖn thÕ VH ®o ®−îc gi÷a hai c¹nh tÊm b¸n dÉn lµ hµm phô thuéc vµo vÞ trÝ cña vËt trong kh«ng gian. - 18- 1.4.2. Nguyªn chÕ t¹o c¶m biÕn thô ®éng C¶m biÕn thô ®éng th−êng ®−îc chÕ t¹o tõ mét trë kh¸ng cã c¸c th«ng sè chñ yÕu nh¹y víi ®¹i l−îng cÇn ®o. Gi¸ trÞ cña trë kh¸ng phô thuéc kÝch th−íc h×nh häc, tÝnh chÊt ®iÖn cña vËt liÖu chÕ t¹o (nh− ®iÖn trë suÊt ρ, ®é tõ thÈm µ, h»ng sè ®iÖn m«i ε). V× vËy t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o cã thÓ ¶nh h−ëng riªng biÖt ®Õn kÝch th−íc h×nh häc, tÝnh chÊt ®iÖn hoÆc ®ång thêi c¶ hai. Sù thay ®æi th«ng sè h×nh häc cña trë kh¸ng g©y ra do chuyÓn ®éng cña phÇn tö chuyÓn ®éng hoÆc phÇn tö biÕn d¹ng cña c¶m biÕn. Trong c¸c c¶m biÕn cã phÇn tö chuyÓn ®éng, mçi vÞ trÝ cña phÇn tö ®éng sÏ øng víi mét gi¸ trÞ x¸c ®Þnh cña trë kh¸ng, cho nªn ®o trë kh¸ng cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc vÞ trÝ cña ®èi t−îng. Trong c¶m biÕn cã phÇn tö biÕn d¹ng, sù biÕn d¹ng cña phÇn tö biÕn d¹ng d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o (lùc hoÆc c¸c ®¹i l−îng g©y ra lùc) g©y ra sù thay ®æi cña trë kh¸ng cña c¶m biÕn. Sù thay ®æi trë kh¸ng do biÕn d¹ng liªn quan ®Õn lùc t¸c ®éng, do ®ã liªn quan ®Õn ®¹i l−îng cÇn ®o. X¸c ®Þnh trë kh¸ng ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc ®¹i l−îng cÇn ®o. Sù thay ®æi tÝnh chÊt ®iÖn cña c¶m biÕn phô thuéc vµo b¶n chÊt vËt liÖu chÕ t¹o trë kh¸ng vµ yÕu tè t¸c ®éng (nhiÖt ®é, ®é chiÕu s¸ng, ¸p suÊt, ®é Èm ...). §Ó chÕ t¹o c¶m biÕn, ng−êi ta chän sao cho tÝnh chÊt ®iÖn cña nã chØ nh¹y víi mét trong c¸c ®¹i l−îng vËt lý trªn, ¶nh h−ëng cña c¸c ®¹i l−îng kh¸c lµ kh«ng ®¸ng kÓ. Khi ®ã cã thÓ thiÕt lËp ®−îc sù phô thuéc ®¬n trÞ gi÷a gi¸ trÞ ®¹i l−îng cÇn ®o vµ gi¸ trÞ trë kh¸ng cña c¶m biÕn. Trªn b¶ng 1.1 giíi thiÖu c¸c ®¹i l−îng cÇn ®o cã kh¶ n¨ng lµm thay ®æi tÝnh chÊt ®iÖn cña vËt liÖu sö dông chÕ t¹o c¶m biÕn. B¶ng 1.1 §¹i l−îng cÇn ®o NhiÖt ®é Bøc x¹ ¸nh s¸ng BiÕn d¹ng VÞ trÝ (nam ch©m) §Æc tr−ng nh¹y c¶m ρ Lo¹i vËt liÖu sö dông Kim lo¹i (Pt, Ni, Cu) B¸n dÉn ρ B¸n dÉn ρ Hîp kim Ni, Si pha t¹p Tõ thÈm (µ) ρ Hîp kim s¾t tõ VËt liÖu tõ ®iÖn trë:Bi, InSb - 19- 1.5. M¹ch ®o 1.5.1. S¬ ®å m¹ch ®o M¹ch ®o bao gåm toµn bé thiÕt bÞ ®o (trong ®ã cã c¶m biÕn) cho phÐp x¸c ®Þnh chÝnh x¸c gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng cÇn ®o trong nh÷ng ®iÒu kiÖn tèt nhÊt cã thÓ. ë ®Çu vµo cña m¹ch, c¶m biÕn chÞu t¸c ®éng cña ®¹i l−îng cÇn ®o g©y nªn tÝn hiÖu ®iÖn mang theo th«ng tin vÒ ®¹i cÇn ®o. ë ®Çu ra cña m¹ch, tÝn hiÖu ®iÖn ®· qua xö lý ®−îc chuyÓn ®æi sang d¹ng cã thÓ ®äc ®−îc trùc tiÕp gi¸ trÞ cÇn t×m cña ®¹i l−îng ®o. ViÖc chuÈn hÖ ®o ®¶m b¶o cho mçi gi¸ trÞ cña chØ thÞ ®Çu ra t−¬ng øng víi mét gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o t¸c ®éng ë ®Çu vµo cña m¹ch. D¹ng ®¬n gi¶n cña m¹ch ®o gåm mét c¶m biÕn, bé phËn biÕn ®æi tÝn hiÖu vµ thiÕt bÞ chØ thÞ, vÝ dô m¹ch ®o nhiÖt ®é gåm mét cÆp nhiÖt ghÐp nèi trùc tiÕp víi mét miliv«n kÕ. µV H×nh 1.10 S¬ ®å m¹ch ®o nhiÖt ®é b»ng cÆp nhiÖt FC (1) D (2) M¸y in PC (4) (5) ADC (6) CPU (7) Mµn h×nh PA (3) H×nh 1.11 M¹ch ®o ®iÖn thÕ bÒ mÆt 1) M¸y ph¸t chøc n¨ng 2) C¶m biÕn ®iÖn tÝch 3) TiÒn khuÕch ®¹i 4) So pha läc nhiÔu 5) KhuÕch ®¹i 6) ChuyÓn ®æi t−¬ng tù sè 7) M¸y tÝnh Trªn thùc tÕ, do c¸c yªu cÇu kh¸c nhau khi ®o, m¹ch ®o th−êng gåm nhiÒu thµnh phÇn trong ®ã cã c¸c khèi ®Ó tèi −u ho¸ viÖc thu thËp vµ xö lý d÷ liÖu, ch¼ng h¹n m¹ch tuyÕn tÝnh ho¸ tÝn hiÖu nhËn tõ c¶m biÕn, m¹ch khö ®iÖn dung ký sinh, - 20- c¸c bé chuyÓn ®æi nhiÒu kªnh, bé khuÕch ®¹i, bé so pha läc nhiÔu, bé chuyÓn ®æi t−¬ng tù - sè, bé vi xö lý, c¸c thiÕt bÞ hç trî... Trªn h×nh 1.11 biÓu diÔn s¬ ®å khèi mét m¹ch ®iÖn ®o ®iÖn thÕ trªn bÒ mÆt mµng nh¹y quang ®−îc l¾p r¸p tõ nhiÒu phÇn tö 1.5.2. Mét sè phÇn tö c¬ b¶n cña m¹ch ®o a) Bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n (K§TT) Bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n m¹ch tÝch hîp lµ bé khuÕch ®¹i dßng mét chiÒu cã hai ®Çu vµo vµ mét ®Çu ra chung, th−êng gåm hµng tr¨m tranzito vµ c¸c ®iÖn trë, tô ®iÖn ghÐp nèi víi nhau. S¬ ®å bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n biÓu diÔn trªn h×nh 1.12. − Ura K + Ura = K.Uvµo H×nh 1.12 S¬ ®å bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n C¸c ®Æc tÝnh c¬ b¶n cña bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n: - Bé khuÕch ®¹i cã hai ®Çu vµo: mét ®Çu ®¶o (-), mét ®Çu kh«ng ®¶o (+). - §iÖn trë vµo rÊt lín, cì hµng tr¨m MΩ ®Õn GΩ. - §iÖn trë ra rÊt nhá, cì phÇn chôc Ω. - §iÖn ¸p lÖch ®Çu vµo rÊt nhá, cì vµi nV. - HÖ sè khuÕch ®¹i hë m¹ch rÊt lín, cì 100.000. - D¶i tÇn lµm viÖc réng. - HÖ sè suy gi¶m theo c¸ch nèi chung CMRR lµ tû sè hÖ sè khuÕch ®¹i cña bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n ®èi víi c¸c tÝn hiÖu sai lÖch vµ hÖ sè khuÕch ®¹i theo c¸ch nèi chung cña cïng bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n. Th«ng th−êng CMRR vµo kho¶ng 90 dB. - Tèc ®é t¨ng h¹n chÕ sù biÕn thiªn cùc ®¹i cña ®iÖn ¸p tÝnh b»ng V/µs. b) Bé khuÕch ®¹i ®o l−êng IA Bé khuÕch ®¹i ®o l−êng IA cã hai ®Çu vµo vµ mét ®Çu ra. TÝn hiÖu ®Çu ra tû lÖ víi hiÖu cña hai ®iÖn ¸p ®Çu vµo: U ra = A(U + − U − ) = A∆U - 21- U1 − − + R3 10k R2 10k + R 10k Ra 1k − + R 10k − + U3 §Çu ra R2 10k R3 190k U2 H×nh 1.13 S¬ ®å bé khuÕch ®¹i ®o l−êng gåm ba K§TT ghÐp nèi ®iÖn trë §Çu vµo vi sai ®ãng vai trß rÊt quan träng trong viÖc khö nhiÔu ë chÕ ®é chung vµ t¨ng ®iÖn trë vµo cña K§TT. §iÖn ¸p trªn Ra ph¶i b»ng ®iÖn ¸p vi sai ®Çu vµo ∆U vµ t¹o nªn dßng ®iÖn i = ∆U . C¸c ®iÖn ¸p ra tõ K§TT U1 vµ U2 ph¶i b»ng nhau vÒ Ra biªn ®é nh−ng ng−îc pha. §iÖn ¸p U3 cña tÇng thø hai biÕn ®æi ®Çu ra vi sai thµnh ®Çu ra ®¬n cùc. HÖ sè khuÕch ®¹i tæng cña IA b»ng: ⎛ 2R ⎞ R 3 ⎟⎟ A = ⎜⎜1 + R ⎝ a ⎠ R1 c) Khö ®iÖn ¸p lÖch §èi víi mét bé khuÕch K§TT lý t−ëng khi hë m¹ch ph¶i cã ®iÖn ¸p ra b»ng kh«ng khi hai ®Çu vµo nèi m¸t. Thùc tÕ v× c¸c ®iÖn ¸p bªn trong nªn t¹o ra mét ®iÖn ¸p nhá (®iÖn ¸p ph©n cùc) ë ®Çu vµo K§TT cì vµi mV, nh−ng khi sö dông m¹ch kÝn ®iÖn ¸p nµy ®−îc khuÕch ®¹i vµ t¹o nªn ®iÖn ¸p kh¸ lín ë ®Çu ra. §Ó khö ®iÖn ¸p lÖch cã thÓ sö dông s¬ ®å h×nh 1.14, b»ng c¸ch ®iÒu chØnh biÕn trë R3. + 9V 7 2 + 3 − 6 714 4 - 9V R2 100k 1 5 R3 10k §Çu ra R1 1,01k §Çu vµo H×nh 1.14 S¬ ®å m¹ch khö ®iÖn ¸p lÖch - 22- d) M¹ch lÆp l¹i ®iÖn ¸p §Ó lÆp l¹i ®iÖn ¸p chÝnh x¸c, ng−êi ta sö dông bé K§TT lµm viÖc ë chÕ ®é kh«ng ®¶o víi hÖ sè khuÕch ®¹i b»ng 1 s¬ ®å nh− h×nh 1.15. + 9V 7 2 − 3 + 6 714 4 - 9V §Çu ra §Çu vµo H×nh 1.15 S¬ ®å m¹ch lÆp ®iÖn ¸p Trong bé lÆp ®iÖn ¸p, cùc d−¬ng cña K§TT ®−îc nèi trùc tiÕp víi tÝn hiÖu vµo, cßn cùc ©m ®−îc nèi trùc tiÕp víi ®Çu ra, t¹o nªn ®iÖn ¸p ph¶n håi 100% do ®ã hÖ sè khuÕch ®¹i b»ng 1. M¹ch lÆp ®iÖn ¸p cã chøc n¨ng t¨ng ®iÖn trë ®Çu vµo, do vËy th−êng dïng ®Ó nèi gi÷a hai kh©u trong m¹ch ®o. e) M¹ch cÇu CÇu Wheatstone th−êng ®−îc sö dông trong c¸c m¹ch ®o nhiÖt ®é, lùc, ¸p suÊt, tõ tr−êng... CÇu gåm bèn ®iÖn trë R1, R2, R3 cè ®Þnh vµ R4 thay ®æi (m¾c nh− h×nh 1.16) ho¹t ®éng nh− cÇu kh«ng c©n b»ng dùa trªn viÖc ph¸t hiÖn ®iÖn ¸p qua ®−êng chÐo cña cÇu. R1 R3 U + R2 R4 = R(1+∆) Vra − H×nh 1.15 S¬ ®å m¹ch cÇu Trong m¹ch cÇu, ®iÖn ¸p ra lµ hµm phi tuyÕn nh−ng ®èi víi biÕn ®æi nhá (∆<0,05) cã thÓ coi lµ tuyÕn tÝnh. Khi R1 = R2 vµ R3 = R4 ®é nh¹y cña cÇu lµ cùc ®¹i. Tr−êng hîp R1 >> R2 hoÆc R2 >> R1 ®iÖn ¸p ra cña cÇu gi¶m. §Æt K = R1/R2 ®é nh¹y cña cÇu lµ: α= U K . R (1 + k )2 - 23- - 24-